[发明专利]电子特气的提纯方法在审
| 申请号： | 202210963192.0 | 申请日： | 2022-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN115155244A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 李东升 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 吕露 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种电子特气的提纯方法，属于半导体制造气体提纯技术领域。电子特气为烷类气体，提纯方法包括吸附流程：采用碱处理改性和/或酸处理改性的多孔碳对电子特气原料气中的电子特气进行吸附，使得电子特气原料气中的电子特气和杂质气体分离。该提纯方法采用吸附提纯处理方式，能避免提纯能耗高、物料损失多的问题；其中使用到的改性多孔碳对电子特气有较好的吸附活性、吸附选择性和吸附容量，能有效地吸附电子特气实现电子特气和杂质气体的分离，从而能有效去除电子特气原料气中的多种杂质气体。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 提纯 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海正帆科技股份有限公司，未经上海正帆科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210963192.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
