[发明专利]一种基于时间序列预测的多晶硅还原炉控制方法有效
| 申请号： | 202210958110.3 | 申请日： | 2022-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN115032891B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 孙铁;蒋淡宁;冯恺睿;张永强;刘伟;钟智敏 | 申请（专利权）人： | 科大智能物联技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B11/42 | 分类号： | G05B11/42 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 娄岳 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市中国(安徽)自由贸易试验*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及多晶硅还原炉控制领域，公开了一种基于时间序列预测的多晶硅还原炉控制方法，通过LSTM神经网络对还原炉未来一段时间的电阻进行预测，当预测的结果显示还原炉电阻将要偏离最优电阻曲线时，通过模糊PID控制器对硅棒的电流进行控制，不依赖还原炉内的温度传感器；能够提前对未来的还原炉内状态进行预测，从而减少调控的滞后性；调控基于传感器数据，精度较人工观察更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 时间 序列 预测 多晶 还原 控制 方法 | ||
【主权项】：
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