[发明专利]一种多尺寸兼容光刻机的传输系统有效
| 申请号： | 202210947214.4 | 申请日： | 2022-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN115309004B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 钟敏 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65G47/248;B65G47/90;B65G35/00;B01D46/64;B01D46/30;B01D46/10 |
| 代理公司： | 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 | 代理人： | 韦志刚;曹月明 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，包括工作台和螺栓安装在工作台顶部的第一限位导轨以及安装在工作台顶部左侧的光刻设备，所述第一限位导轨内轨滑动设置有第一电动滑块，通过设置了调节机构在安装板架顶部，通过调节气缸带动调节位移板进行长度调节动作，然后通过第二电动滑块带动安装侧板在第二限位导轨上进行位移而进行宽度调节动作，再然后通过第一高精度电推杆带动位移侧板等部件进行高度调节动作，有利于提高对夹持部件的调节动作，进而提高对不同规格的光刻线板的适用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 兼容 光刻 传输 系统 | ||
【主权项】：
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