[发明专利]一种用于160kV开放式X射线源的透射靶及制备和绝缘方法在审
| 申请号： | 202210943728.2 | 申请日： | 2022-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN115274381A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 王刘成;孔文文;张伟;仇小军 | 申请（专利权）人： | 无锡日联科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J35/08 | 分类号： | H01J35/08;H01J35/24;C23C14/35;C23C14/18;B23K1/00 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 厉丹彤 |
| 地址： | 214112 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明属于射线管技术领域，本发明公开了一种用于160kV开放式X射线源的透射靶及制备和绝缘方法，制备方法包括如下步骤：将金刚石衬底进行表面与处理；将预处理后的金刚石衬底送入磁控溅射样品生长腔，待生长腔的本底真空达到1E‑5Pa，通入Ar气体，使钨靶起辉，待其预溅射10min，辉光稳定后，控制溅射功率在200W，加热使衬底升温到300℃，将金刚石基底移动到钨靶正对的方向，待稳定后，通过溅射在金刚石表面生长6微米厚钨，溅射完成后关闭溅射电源，样品冷却完成取出；将加工好的铜或铝制靶托清洗洁净后，将镀钨金刚石样品和靶托焊接在一起。本发明将透射靶与其他部件进行绝缘，可以准确地检测靶电流的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 160 kv 开放式 射线 透射 制备 绝缘 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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