[发明专利]一种晶振盒载具及载具组件在审
申请号: | 202210935760.6 | 申请日: | 2022-08-04 |
公开(公告)号: | CN115254763A | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 蔡则凡;张蔡星;钱超 | 申请(专利权)人: | 江苏高光半导体材料有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B08B13/00 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董成 |
地址: | 212400 江苏省镇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提出的一种晶振盒载具及载具组件,涉及蒸镀机晶振探头清洗治具领域。晶振盒载具包括装配位、外围支撑框和连接部;多个装配位处于同一平面,其中包括一个第一装配位和至少一圈围绕第一装配位设置的多个第二装配位;外围支撑框环绕于装配位的外围;多个连接部分别连接于第一装配位、第二装配位、外围支撑框之间。载具组件包括晶振盒载具和载具外框,载具外框包括框体,框体的中部具有窗口;框体一侧具有安装槽,另一侧具有凸出部;晶振盒载具的外围支撑框固定于安装槽内。本发明的晶振盒载具及载具组件,一次性可装载多个晶振盒进行清洗,清洗效率成倍提高;装载的晶振盒之间互不接触、碰撞,不易损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶振盒载具 组件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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