[发明专利]一种基于人工表面等离激元的片上谐振式传感器

摘要

本发明提供一种基于人工表面等离激元的片上谐振式传感器，该传感器金属圆环（1）位于所述传感器的中部，在金属圆环（1）内侧设置有金属光栅（2），金属光栅（2）内端通过梯形连接金属块（3）两两连接在一起；在金属圆环（1）外的左右两侧对称分布有馈电金属弧（4），馈电金属弧（4）通过五十欧姆微带线（5）与信号焊盘（6）连接；第一接地焊盘（7）和第二接地焊盘（8）分别位于信号焊盘（6）的两旁并穿过光刻胶（9）、衬底（10）与金属层（11）连接。该传感器品质因数高，对周围环境敏感，通过等比例缩放人工表面等离激元结构可将工作频率扩展到微波、毫米波以及太赫兹频段。