[发明专利]控制设备、光刻装置和物品制造方法在审
| 申请号： | 202210902358.8 | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115685692A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 清原直树;北直树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 汪晶晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及控制设备、光刻装置和物品制造方法。一种控制待控制对象的控制设备。该设备包括：生成器，被配置为生成用于确定操纵变量的概率分布；以及确定器，被配置为基于由生成器生成的概率分布来确定操纵变量。在操作阶段中，确定器根据概率分布的期望值来确定操纵变量。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 设备 光刻 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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