[发明专利]用于椭偏量测系统的拟合优化方法和相关装置有效
| 申请号： | 202210885421.1 | 申请日： | 2022-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN115391726B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 杨峰;韩景珊;庄源 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/14 | 分类号： | G06F17/14;G06F17/15 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑振 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种用于椭偏量测系统的拟合优化方法及其相关装置。该方法包括：使用所述椭偏量测系统对参考样品进行M次测量，以获取对应的M个光谱信号；获取依赖于所述参考样品的理论材料模型的理论灵敏度函数；基于所述信噪比函数和所述理论灵敏度函数，获得适用于待测样品的实际测得的目标拟合函数的拟合权重函数，所述待测样品的类型与所述参考样品的类型相同；以及基于所述理论材料模型，使用所述拟合权重函数并以所述待测样品的目标待测量为变量，对所述待测样品的所述实际测得的目标拟合函数进行拟合。利用本公开的方法，可以显著地提高椭偏量测系统的测量精度和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 椭偏量测 系统 拟合 优化 方法 相关 装置 | ||
【主权项】：
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