[发明专利]镀膜装置和磁场强度均匀性在线检测及调控方法在审
| 申请号： | 202210875560.6 | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN115216746A | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 韩全寿;陈海峰;梁忠;周泓崑;易子杏 | 申请（专利权）人： | 深圳南玻应用技术有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 聂智 |
| 地址： | 518067 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜装置和磁场强度均匀性在线检测及调控方法，所述镀膜装置包括：旋转靶组件，所述旋转靶组件包括旋转靶材以及用于产生磁场的磁性件，所述磁性件设于所述旋转靶材内；检测组件，包括多个磁场强度感应件，多个所述磁场强度感应件沿所述旋转靶材的轴线方向间隔分布；显示组件，所述显示组件与多个所述磁场强度感应件均连接，以显示多个所述磁场强度感应件的检测结果。相对于人工检测磁场强度，通过如上述的多个磁场强度感应件相互配合，上述镀膜装置能够快速且准确地在线检测镀膜装置内的磁场强度。磁场强度均匀性在线检测及调控方法能够对上述镀膜装置内磁场强度进行在线检测及调控。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 磁场强度 均匀 在线 检测 调控 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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