[发明专利]气体密封用滤光气室在审
| 申请号： | 202210858146.4 | 申请日： | 2022-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN115031155A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 陈默;安德里亚斯·何斯特;李新华 | 申请（专利权）人： | 江苏舒茨测控设备股份有限公司 |
| 主分类号： | F17C1/00 | 分类号： | F17C1/00;F17C13/00;F17C13/04 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 邓骏杰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市常熟市经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种气体密封用滤光气室，涉及滤光气室技术领域，其包括储气装置和密封装置；所述储气装置包括隔滤气室和外接块，所述外接块设置于隔滤气室一侧；所述外接块相对的两侧分别设置有进气通道和出气通道；所述外接块上还设置有两条插接通道，其中一条所述插接通道与进气通道连通，另一条所述插接通道与出气通道连通；所述外接块上还设置有两条导气通道，一条所述导气通道用于连通一条插接通道；所述密封装置用于封堵插接通道，以阻隔气体在所述导气通道和进气通道，或在所述导气通道和出气通道之间流通。本申请具有保障特定气体在隔滤气室内的封闭稳定性，减少特定气体与其他气体产生交叉干扰的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 密封 滤光 | ||
【主权项】：
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