[发明专利]安装装置及安装工具有效
| 申请号： | 202210848670.3 | 申请日： | 2022-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN115070694B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 刘晨晖;尧舜;胡斌;董国亮;冒凯;陈章龙;汤秀娟 | 申请（专利权）人： | 华芯半导体科技有限公司;华芯半导体研究院（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/14 | 分类号： | B25B27/14 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 魏言笑 |
| 地址： | 225500 江苏省泰州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种安装装置及安装工具，用于将尾气收集圈安装于金属有机化学气相沉积系统的反应腔内，所述安装装置包括：杆体；托板，设于所述杆体上，并具有承托所述尾气收集圈的伸展状态和解除该承托效果的收缩状态；驱动组件，设于所述杆体上，用于驱使所述托板在伸展状态和收缩状态之间切换。本申请实施例的安装装置，其在尾气收集圈和反应腔的腔壁之间移动时，可以通过收缩托板来解决安装装置因托板尺寸过大而导致安装装置无法使用的问题，同时，由于托板可收缩的特点，可以保证托板具有足够的尺寸，避免因托板尺寸过小而导致的尾气收集圈容易脱落的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 安装 装置 工具 | ||
【主权项】：
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