[发明专利]一种双面敏感型室温氢气传感器的制备方法在审
申请号: | 202210845909.1 | 申请日: | 2022-07-19 |
公开(公告)号: | CN115219566A | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | 胡永明;谢莉萍;王钊;黄浩;熊娟;邓鹤鸣;顾豪爽 | 申请(专利权)人: | 湖北大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 北京众允专利代理有限公司 11803 | 代理人: | 宋晓韵 |
地址: | 430062 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种双面敏感型室温氢气传感器的制备方法,在氧化钼纳米纤维纸的正反两侧表面分别磁控溅射金属T i/Pt薄膜构成电极,以高纯钛、铂靶为溅射源,利用直流溅射的方法,得到双面敏感型室温氢气传感器。本发明制备的氢气传感器在室温下暴露在氢气环境中时,氢分子会被层状的多孔膜纳米纸传感器的正反两面同时吸附,迅速与氧离子反应,氧离子与氢分子反应释放出大量的电子,使传感器电阻下降,因此双面敏感元件具有较高的比表面积,灵敏度高,室温下的响应时间和恢复时间短。其次,该传感器和传统的敏感层是粉体和薄膜传感器相比,制备的室温氢气传感器不需要支撑物,不易脱落。再次,本发明方法简单,成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 双面 敏感 室温 氢气 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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