[发明专利]一种复合场调制微波冷等离子体射流装置在审
| 申请号： | 202210842221.8 | 申请日： | 2022-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN115052407A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 于丙文;柏怡文;金伟 | 申请（专利权）人： | 浙江大学湖州研究院 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30;H05H1/42 |
| 代理公司： | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人： | 金利琴 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市西塞山路8*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出一种复合场调制微波冷等离子体射流装置，包括腔体部分，微波耦合部分，调谐部分，电场调制部分；腔体部分为一端开放的同轴谐振腔结构，微波传输模式为TEM模式；微波耦合部分可以电导耦合、电容耦合、磁场耦合等方式将微波能量耦合到腔体部分；电场调制部分由施加纳秒脉冲(或DC电压)的内电极实现。本发明基于微波冷等离子体臭氧生成量少、等离子体浓度更高、激发态粒子更丰富，以及纳秒脉冲(或DC)更易形成长直冷等离子体的特点，提出复合场调制的冷等离子体射流，即在微波冷等离子体上施加辅助电场，利用辅助电场牵引带电粒子加速运动，延长射流的长度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 调制 微波 等离子体 射流 装置 | ||
【主权项】：
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