[发明专利]单晶硅制造装置在审
| 申请号： | 202210841271.4 | 申请日： | 2022-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN115637486A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 尼崎晋 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06;G01J5/00;G01J5/07;G01J5/0806 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;司昆明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供单晶硅制造装置(1)，前述单晶硅制造装置(1)具备腔(50)、坩埚(51)、放射温度计(3)、光源(5)、调整装置(4)，前述坩埚(51)配置于腔(50)内，前述放射温度计(3)具有检测来自测定对象的辐射光的检测元件(16)、将辐射光会聚至检测元件(16)的透镜(15)及用于视觉确认测定对象的取景器(17)，前述光源(5)经由取景器(17)及透镜(15)向测定对象沿与透镜(15)的光轴(A)一致的轴线供给光，前述调整装置(4)在能够调整放射温度计(3)的测定位置的状态下支承放射温度计(3)。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 制造 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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