[发明专利]光刻设备和用于形成光刻胶图案的方法在审
| 申请号： | 202210838715.9 | 申请日： | 2022-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN115639725A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 柳龙焕;朴商鎭;李沙罗;朱成培 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人： | 李子光 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了光刻设备和用于形成光刻胶图案的方法。该光刻设备包括清洁目标衬底的清洁单元、干燥从清洁单元提供的目标衬底的干燥单元以及通过在从干燥单元提供的目标衬底上涂布光刻胶来形成光刻胶层的涂布单元。干燥单元包括对目标衬底执行真空处理的第一真空单元。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 用于 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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