[发明专利]一种微型回转式谐振结构的高精度加工系统和方法有效
| 申请号： | 202210818088.2 | 申请日： | 2022-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN114985908B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 胡友旺;王亚龙;孙小燕;龙超;郑皓宁 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | B23K26/0622 | 分类号： | B23K26/0622;B23K26/70 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工系统和方法，系统包括：飞秒激光器、光路模块、多轴运动平台、微调装置、机器视觉高倍成像模块、图像处理程序、加工路径规划模块。所述飞秒激光器配合光路模块可实现对微型器件的高精度加工；所述多轴运动平台可承载样品与激光焦点作相对运动，实现复杂轮廓形状的三维加工；所述微调装置可实现微型回转式谐振结构在两个水平方向的距离微调，配合视觉成像模块可实现样品精准定位。本发明也公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工方法，在上述系统的基础上，通过将机器视觉高倍成像模块与图像处理技术应用于飞秒激光加工系统，实现样品与飞秒激光焦点的精准定位，结合自动控制程序为微型回转式谐振结构的高精度加工提供方法，保证了谐振结构加工后的高度三维对称性，具有操作简单，自动化程度高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 回转 谐振 结构 高精度 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中南大学，未经中南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210818088.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于像素特征匹配的目标检测损失优化方法
- 下一篇：一种真空泵外壳喷漆装置
