[发明专利]基于X射线的在线面密度测量方法及装置在审
| 申请号： | 202210815492.4 | 申请日： | 2022-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN115372200A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 彭智;严上奇;彭建;严循东 | 申请（专利权）人： | 蓝冰河（常州）精密测量技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N9/24 | 分类号： | G01N9/24 |
| 代理公司： | 常州市科佑新创专利代理有限公司 32672 | 代理人： | 汤勇 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市武进*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于X射线在线面密度测量方法及装置，所述方法包括：获取薄膜基材的原始数据；对原始数据进行预处理；对处理后的数据进行模型训练，获得监控模型；通过X射线探测器获取薄膜基材的实时测量数据；将实时测量数据输入至监控模型中，从而完成对薄膜基材面密度的检测；依据面密度检测结果分析薄膜基材的质量。通过监控模型对薄膜基材的面密度进行精密测量，以及对薄膜基材的一致性生产质量管控，保证薄膜基材生产线的稳定性，全方位提升薄膜基材的产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 射线 在线 密度 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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