[发明专利]一种基于离焦光栅阵列的波前传感器在审
| 申请号： | 202210809078.2 | 申请日： | 2022-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN115183886A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 官泓利;赵旺;刘生虎;陈春璐;赵孟孟;杨康建;王帅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00;G02B27/44 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 邓治平 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于离焦光栅阵列的波前传感器，利用离焦光栅阵列，同时实现对待测光束的孔径分割和子孔径内±1级离焦光斑的生成，利用每个子孔径中的±1级离焦光斑图像可提取子孔径中波前斜率信息和高阶像差模式系数，实现对子孔径内波前的高分辨测量。与传统夏克‑哈特曼波前传感器相比，本发明可以提取子孔径内更多的细节分布信息，因而可以在同等子孔径条件下以更高精度复原波前，或在相同复原精度下以更少的子孔径数目完成波前复原，从而为弱光、高精度波前探测等领域提供了一种新的技术途径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光栅 阵列 传感器 | ||
【主权项】：
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