[发明专利]一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架在审
| 申请号： | 202210801950.9 | 申请日： | 2022-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN114987593A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 王飞;董晓龙;巫枝盛 | 申请（专利权）人： | 深圳市瓦力自动化有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/04 | 分类号： | B62B3/04;B62B5/00 |
| 代理公司： | 深圳市中融创智专利代理事务所(普通合伙) 44589 | 代理人： | 李朦;叶垚平 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，包括放置层，放置层上设有水箱组件、吸水件及安装件，水箱组件定位于放置层，水箱组件与吸水件连接，吸水件铺设于放置层表面，安装件盖合于吸水件表面，安装件靠近吸水件一侧的表面上设有至少一个定位部，每一定位部定位晶圆拋光盘，当安装件定位于放置层时，晶圆拋光盘压合于吸水件表面。通过将晶圆抛光盘一侧贴附压合吸水件，使得晶圆抛光盘在转移过程中可以立即进行润湿处理，不需要额外设置润湿处理的针对性设备，降低生产设备的成本。同时，通过在转运车架上设置吸水件给晶圆抛光盘润湿，使得晶圆抛光盘的转运和润湿两个工序结合在一起同步进行，提高了晶圆生产的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保湿 型晶圆拋 光盘 转运 车架 | ||
【主权项】：
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