[发明专利]一种基于元细胞自动机的等离子体刻蚀模型仿真方法在审
| 申请号： | 202210801747.1 | 申请日： | 2022-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN115293013A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 彭偲;刘远 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G06F30/25 | 分类号： | G06F30/25;G06F119/02 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 陈清 |
| 地址： | 510090 *** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请适用于微电子加工技术领域，公开了一种基于元细胞自动机的等离子体刻蚀模型仿真方法，本方法首先对当前的刻蚀表面演化模型进行改进，研究不同掩膜形状对刻蚀表面演化模型造成的影响，同时重新定义了等离子刻蚀模型的优化目标，并利用实际刻蚀加工数据来优化离子刻蚀模型，为缩短优化模型所用时间，采用并行方法来加速优化过程，最后，将得到的刻蚀模型参数应用于等离子体刻蚀模型仿真。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 细胞 自动机 等离子体 刻蚀 模型 仿真 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东工业大学，未经广东工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210801747.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：钢卷端面质量检测系统及方法
- 下一篇：一种高导热结构
