[发明专利]一种通过透射谱计算微米级单晶的折射率、消光系数及厚度的方法在审

专利信息
申请号: 202210796391.7 申请日: 2022-07-06
公开(公告)号: CN115165802A 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 刘新风;姜传秀;杜文娜 申请(专利权)人: 国家纳米科学中心
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41;G01N21/59;G01B11/06
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 赵颖
地址: 100190 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种通过透射谱计算微米级单晶的折射率、消光系数及厚度的方法,所述方法包括:测试样品的微区透射谱,通过读谱获取极值点的相关参数,再分别求解极值点的干涉介数;通过迭代等算法,分别对偶数极值点以及奇数极值点的折射率、消光系数和吸收系数等参数进行计算,通过上述参数绘制出折射率色散曲线,最终通过迭代计算绘制出消光系数色散曲线。所述方法可以获得微米级样品的信息,与现有的椭偏仪测试相比,更加简便快捷且廉价。
搜索关键词: 一种 通过 透射 计算 微米 级单晶 折射率 系数 厚度 方法
【主权项】:
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