[发明专利]一种微动平台有效
申请号: | 202210791338.8 | 申请日: | 2022-07-07 |
公开(公告)号: | CN114865946B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 谢怡仁;张晓东;吴火亮;禹洪亮 | 申请(专利权)人: | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
主分类号: | H02N2/00 | 分类号: | H02N2/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 卢炳琼 |
地址: | 200120 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种微动平台,包括外框、中心运动平台、3个以上解耦结构及3个以上压电驱动模块;中心运动平台位于外框内,外框和中心运动平台柔性连接;压电驱动模块位于外框和中心运动平台之间,且分别与外框和中心运动平台连接,压电驱动模块不共线,压电驱动模块包括压电致动器;解耦结构与压电驱动模块一一对应设置;解耦结构包括连接块、若干第一簧片和第二簧片,连接块的一端与压电致动器连接;第一簧片沿垂直压电致动器的致动方向设置,且位于连接块的相对两侧,并分别与连接块及外框连接;第二簧片设置于连接块背离压电致动器的一端,且与中心运动平台连接。本发明有助于简化器件结构,延长器件使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 微动 平台 | ||
【主权项】:
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