[发明专利]一种多层级Sc浓度不同的薄膜滤波器及其制备方法有效
| 申请号： | 202210784691.3 | 申请日： | 2022-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN114866064B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/56 | 分类号： | H03H9/56;H03H3/02;H03H9/60 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518049 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种多层级Sc浓度不同的薄膜滤波器及其制备方法。所述薄膜滤波器包括多个薄膜谐振器；所述多个薄膜谐振器均为掺钪谐振器；多个所述掺钪谐振器串联连接，并且，每相邻两个掺钪谐振器的钪掺杂浓度不同；其中，多个所述掺钪谐振器中，与所述薄膜滤波器的输入端和输出端最近的掺钪谐振器的掺钪浓度高于与所述薄膜滤波器的输入端和输出端最远的掺钪谐振器的掺钪浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 sc 浓度 不同 薄膜 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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