[发明专利]一种光刻胶胶嘴装置有效
| 申请号： | 202210780439.5 | 申请日： | 2022-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN114849990B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 查方发;袁宁丰;李朋;陈理 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/00;B05C11/10;B08B3/02 |
| 代理公司： | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376 | 代理人： | 谢英 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶胶嘴装置，包括：保温盒，所述保温盒包括保温盒壳体，所述保温盒壳体内具有保温腔；至少一个喷嘴，安装于所述保温盒；输送管，所述输送管连通所述喷嘴，并穿过所述保温腔；点胶组件，所述点胶组件设于所述保温盒的一侧；保湿盒，所述保湿盒包括第一保湿槽和第二保湿槽，所述喷嘴伸入所述第一保湿槽，所述点胶组件伸入所述第二保湿槽。本发明解决了检测光刻胶工艺性质的装置与喷嘴由同一主管路供胶，导致主管路容易污染的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶胶嘴 装置 | ||
【主权项】：
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