[发明专利]一种二维材料悬空释放装置及方法在审
| 申请号： | 202210779245.3 | 申请日： | 2022-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN115140705A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 刘瑛;刘冠军;邱静;吕克洪;张勇;杨鹏;郭斯琳 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00 |
| 代理公司： | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人： | 赵小龙 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维材料悬空释放装置及方法，该装置包括：二维材料样品高度调整模块，用于通过支撑材料夹持待悬空释放的二维材料样品，以及调整二维材料样品浸入溶液中的深度；二维材料悬空释放溶液置换模块，具有支撑材料去除溶剂，用于去除二维材料表层的支撑材料；置换溶液注入模块，用于向二维材料悬空释放溶液置换模块中加注支撑材料去除溶剂，以及以低表面张力的置换溶液置换高表面张力的支撑材料去除溶剂。本发明应用于微纳系统技术领域，通过低表面张力的溶液置换和二维材料浸入液面高度量化控制，弥补传统方法工艺的不稳定性，可显著降低二维材料悬空释放过程中的破损率，可推广至二维材料悬空器件批量制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 材料 悬空 释放 装置 方法 | ||
【主权项】：
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