[发明专利]一种光学玻璃镀膜方法在审

专利信息
申请号: 202210764496.4 申请日: 2022-06-30
公开(公告)号: CN115196884A 公开(公告)日: 2022-10-18
发明(设计)人: 汪洋;黄军;周慧;李文 申请(专利权)人: 深圳市楠轩光电科技有限公司
主分类号: C03C17/245 分类号: C03C17/245;C03C23/00;B08B3/12
代理公司: 北京贵都专利代理事务所(普通合伙) 11649 代理人: 李新锋
地址: 518111 广东省深圳市龙岗区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及玻璃镀膜技术领域,具体涉及一种光学玻璃镀膜方法。所述方法采用激光诱导化学气相沉积法在光学玻璃的表面沉积氧化锡锑薄膜,包括以下步骤:1)光学玻璃的处理;2)采用光解激光诱导化学气相沉积法反应装置在步骤1)处理后的光学玻璃基板表面沉积氧化锡锑薄膜:光解激光诱导化学气相沉积法反应装置的激光光源采用紫外超短脉冲激光;以单丁基三氯化锡和SbCl3作为反应物;镀膜过程中混合后单丁基三氯化锡的浓度为1‑3mol/L,SbCl3的浓度为0.5‑0.8mol/L;混合完成后混合溶液以4‑5mL/min的供液速度进入反应室;基板温度设定为200‑300℃。本发明的光学玻璃镀膜方法得到的镀有氧化锡锑薄膜光学玻璃光透过率高、电阻率低,光电性能好。
搜索关键词: 一种 光学玻璃 镀膜 方法
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