[发明专利]一种离焦扫描的轴向叠层衍射成像方法和系统

摘要

本发明公开了一种离焦扫描的轴向叠层衍射成像方法和系统，属于相干衍射成像领域。本发明通过获取不同半径的照明探针与待测样品相互作用后测量到的衍射光场强度信息，再代入至叠层衍射成像算法中，迭代重构出待测样品的复振幅分布信息和探针的复振幅分布信息，不需要探针的先验信息，可同时实现探针和样品的高分辨率重构，且只需要数十个衍射场，操作简便，收敛迅速。本发明通过保持待测样品和探测器固定不变，平移装置带动聚焦透镜在特定范围内轴向运动，使得入射光斑尺寸变化的同时，衍射场数值孔径不会随着探测器移动而减小，待测样品与不同扫描位置处的不同半径探针相互作用形成空域上的重叠约束，实现样品与探针同时高分辨率重构。