[发明专利]一种大矢高光学结构阵列的加工方法在审
申请号: | 202210751300.8 | 申请日: | 2022-06-29 |
公开(公告)号: | CN114967322A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 雷玫;罗妮;侯洋昆 | 申请(专利权)人: | 华天慧创科技(西安)有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 姚咏华 |
地址: | 710018 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种大矢高光学结构阵列的加工方法,本发明在加工时,未固化胶水软膜滴设在软膜表面,上面是玻璃基板,压印过程中,设备控制软膜上表面和玻璃基板下表面间距不断减小,胶水通过软膜和玻璃基板的挤压向外扩散开,且不断向下填充软膜的凹面结构,直到胶水扩散到玻璃基板边缘,达到预设厚度,并填充软膜的所有凹面结构。本发明避免了玻璃基板向上带动胶水挤压软膜,胶水填充软膜凹面,胶层厚度低于凹面矢高时,凹面软膜无法被完全填充,需增加胶量,引入溢胶,导致软膜侧面被包裹,脱模困难的问题,减少了材料用量,提高了大矢高结构阵列压印良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 大矢高 光学 结构 阵列 加工 方法 | ||
【主权项】:
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