[发明专利]一种微纳米结构防失真转印方法及转印装置在审
| 申请号： | 202210715522.4 | 申请日： | 2022-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN114953797A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 劳召欣;李鑫凯;吴思竹;张晨初 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | B41M3/12 | 分类号： | B41M3/12;B41M5/025;B41F16/00 |
| 代理公司： | 合肥市泽信专利代理事务所(普通合伙) 34144 | 代理人： | 方荣肖 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微纳米结构防失真转印方法及转印装置。转印方法包括以下步骤：S1：将待转印材料预处理形成预聚体，S2：将预聚体和模板共同放入一个真空容器内，S3：对真空容器做真空处理，S4：利用遥控器将预聚体倾倒在模板上，S5：对真空容器破真空，S6：重复S3和S5直至模板的转印结构被预聚体完全填充，S7：将模板和覆盖在模板上的预聚体从真空容器内取出，将预聚体固化形成微纳米结构，对微纳米结构做脱模处理。本发明利用遥控器在真空容器外控制待转印材料的倾倒，在真空腔内实现微纳米转印操作，通过预先对真空容器做真空处理，消除了模板结构气体被密封造成的转印失真，利用填充槽内外气压差将预聚体挤压到填充槽内，提高了转印的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 结构 失真 方法 装置 | ||
【主权项】：
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