[发明专利]一种声能激发SAW谐振器及高阶对称梯形SAW滤波器在审

专利信息
申请号: 202210714602.8 申请日: 2022-06-23
公开(公告)号: CN114938214A 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 王红亮;张鹏;张峰;任瑞;丁琦;张胜阔;曹刚 申请(专利权)人: 中北大学
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02;H03H9/64
代理公司: 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 代理人: 曹一杰
地址: 030051 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明提出了一种由薄的LiNbO3薄膜和SiC组成的多层波导SAW谐振器结构和梯型电路优化方案。该SAW谐振器结构由下至上依次为SiC高速衬底、64°Y‑X LiNbO3压电薄膜、换能器叉指电极,通过将声波引导于低声速区域中传播,强化激发主模声波,消除杂波影响,降低插入损耗,最后将用于串联的谐振器和用于并联的谐振器采用梯型电路优化方案制作成SAW滤波器。采用本结构的SAW滤波器具有大带宽和低插入损耗,能够使其工作时具有较优性能。
搜索关键词: 一种 激发 saw 谐振器 对称 梯形 滤波器
【主权项】:
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