[发明专利]喷印添加与激光去除相结合制造漏印网版掩膜图案的方法在审
| 申请号： | 202210710540.3 | 申请日： | 2022-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN115257149A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 胡宏宇;洪少彬 | 申请（专利权）人： | 德中（天津）技术发展股份有限公司 |
| 主分类号： | B41C1/14 | 分类号： | B41C1/14;B41M5/00 |
| 代理公司： | 天津合正知识产权代理有限公司 12229 | 代理人： | 马云云 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种喷印添加与激光去除相结合制造漏印网版掩膜图案的方法，根据掩蔽图案的设计尺寸以及喷印加工、激光加工的误差得出喷印加工和激光加工的参数，先用喷印添加的方法，向空白网版的图案区域涂覆掩蔽材料，并将掩蔽材料固化，再用激光去除的方法，光蚀去除掉网版上因喷印加工误差而多余的掩蔽材料，去除的同时，用激光修整图案侧壁，得到需要的掩蔽图案。本发明只选择性地在图案区域喷印掩蔽材料，适合掩蔽图案占整网表面积比例较小的网版；用激光光蚀去除多余材料，精密度高而且速度快，侧壁质量好，适合高精密度网版生产；可以选择非光敏材料做掩蔽膜，掩蔽性能好，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 添加 激光 去除 相结合 制造 漏印网版掩膜 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德中（天津）技术发展股份有限公司，未经德中（天津）技术发展股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210710540.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
