[发明专利]一种基于等离子体的碳纳米管材料氟化装置及其使用方法

摘要

本发明公开了一种基于等离子体的碳纳米管材料氟化装置及其使用方法，将装有碳纳米管材料的绝缘托盘置于平行平板电极中心，电极整体置于密闭腔室内，随后抽至真空，匀速通入CF4气体，采用射频电源供电使得CF4电离产生等离子体。绝缘托盘底部设有超声波振动片，产生高频机械振动用于分散碳纳米管材料。高压电极为网状结构，一方面在电极之间形成可自由扩散的等离子体区域，另一方面阻挡碳纳米管材料，避免其逸出等离子体区域。用此装置制备氟化碳纳米管不仅可以实现大量碳纳米管的氟化处理，且处理后的氟化碳纳米管效果均匀性好，处理周期短，生产成本较低，安全性高，氟化处理装置结构简单，实用性强。