[发明专利]晶圆平坦化设备在审
| 申请号： | 202210666055.0 | 申请日： | 2022-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN114952607A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 施邓 | 申请（专利权）人： | 上海满义知识产权服务有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B7/22;B24B55/02;B24B55/06;B24B55/00;B24B37/28;H01L21/304 |
| 代理公司： | 安徽顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 张岩 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为晶圆平坦化设备，包括工作台，所述工作台的顶端面固定安装有安装架，所述安装架的顶板上固定安装有第一气缸，所述第一气缸的活塞杆贯穿安装架的顶板并固定连接有减速电机，通过设置第一直线模组、第一壳体、吸尘器、第二壳体和风扇，在打磨时，可以通过第一直线模组工作使得第一壳体和第二壳体接触，在打磨过程中能够起到防止碎屑迸溅的作用，减少环境污染，避免了碎屑对工作人员造成危害,且可以降低晶圆打磨过程中的噪音污染，起到一定降噪的作用，且可以对打磨产生的碎屑进行收集，保证工作环境的整洁，且可以对打磨时打磨轮和晶圆的打磨面进行物理降温，延长打磨轮的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 平坦 设备 | ||
【主权项】：
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