[发明专利]一种计算机控制激光测量仪XY扫描的方法在审
| 申请号： | 202210663595.3 | 申请日： | 2022-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN115127474A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 万茜;黄天浩;赵春晓 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 吕永芳 |
| 地址： | 214122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种计算机控制激光测量仪XY扫描的方法，属于测试测量的应用技术领域。本发明基于LabVIEW软件平台，通过计算机程序，实现计算机控制LT‑9010M激光测量仪对被测样品的XY扫描测量，并显示出数据波形图及形貌图；通过选用LT9010M激光测量仪，测量精度可达到达10纳米,远高于目前国内研究的激光测量仪，并且可以应用于多种测量模式；采用LabVIEW平台设计一款适配的控制程序，实现了高效率、高精度的XY扫描；此外，本发明相比于LT9010M激光测量仪自带的扫描方式，可实现更简单、形象、直观地对检测数据进行观察与对比，也让数据处理更加方便、快捷，可应用于各种高精尖测量领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 计算机控制 激光 测量仪 xy 扫描 方法 | ||
【主权项】：
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