[发明专利]一种低温激活的大容量吸气薄膜在审
| 申请号： | 202210653189.9 | 申请日： | 2022-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN115074669A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 | 申请（专利权）人： | 南京华东电子真空材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/18;C23C14/35;C22C30/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210034 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种低温激活的大容量吸气薄膜：通过溅射或蒸镀的方法在不锈钢、可伐、硅、锗、陶瓷等基底表面沉积一层钛锆钴合金薄膜，其中钛与锆的原子比从1:5到5:1，钛加锆与钴的原子比为20:1到3:1。本发明的优点：激活温度可低至200℃；吸气膜内部的应力小，可镀至5微米以上的厚度，增加吸气容量；不使用钯等贵金属，低温激活时对一氧化碳和氢气同时具有良好的吸气能力；靶材制作良率高，易生产大尺寸的靶材和产品，提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 激活 容量 吸气 薄膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京华东电子真空材料有限公司，未经南京华东电子真空材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210653189.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
