[发明专利]三维线光谱共焦传感方法与装置

摘要

本发明提供了一种三维线光谱共焦传感方法与装置，包含：光源模块，色散透镜模块，分束器，强度探测模块，滤波模块，光谱探测模块。光源模块采用双光源输入，单个光源在相应的波段范围具有较高的光谱均匀性，增大了光谱范围，提升了光谱一致性。采用色散透镜模块对两个波段的照明光进行色散调制，双波段的叠加可以实现更大的轴向探测范围。强度探测模块采用狭缝和探测器，有效记录了物体焦点处的能量分布，获得对应的全强度图，实现更高准确率的横向二维测量。光谱探测模块采用双光谱解调探测系统，与双光源的波段范围对应，获得对应的光谱分布图，提升光谱分辨率和轴向分辨力。结合强度探测的全强度图和光谱探测的光谱图，通过线扫描的方式，获得更高的横向分辨力和轴向分辨力的三维测量。因此，本发明提出的一种三维线光谱共焦传感方法与装置，在线扫描快速检测的基础上，可以实现更大的轴向探测范围，更高的横向分辨力以及更高的轴向分辨力的三维测量。