[发明专利]一种具备双维扫描功能的激光振镜扫描系统在审
| 申请号： | 202210616839.2 | 申请日： | 2022-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN115079404A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 褚文学;温在兴;李文勇;龙永涛;黄民源;李泽;马冬林 | 申请（专利权）人： | 武汉欧毅光学有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京千慕专利代理事务所(普通合伙) 16032 | 代理人： | 管育进 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具备双维扫描功能的激光振镜扫描系统，其特征在于，由依次设置的激光光源、光束整形镜、一维振镜、“4f系统”模块A透镜、“4f系统”模块B透镜、二维振镜A反射镜、二维振镜B反射镜、远心光路模块组成；激光振镜扫描系统用于实现全域二维扫描和局域一维精密扫描的同步运行功能；本发明将一维振镜加“4f系统“的组合引入到传统的二维振镜扫描系统中实现全域二维扫描和局域一维精密扫描的同步高速运行，在引入局域一维扫描后可以极大地丰富检测的扫描模式，为多参数同时检测提供了可能，扩大了振镜系统的应用场景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具备 扫描 功能 激光 系统 | ||
【主权项】：
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