[发明专利]一种模斑转换器中的磷化铟垂直楔形结构的制备方法有效
| 申请号： | 202210616663.0 | 申请日： | 2022-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN114815061B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 王亮;江致远;蒋忠君;蒋凯 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;G02B6/14;G03F7/00 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所(普通合伙企业) 34114 | 代理人： | 金惠贞 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种模斑转换器中的磷化铟垂直楔形结构的制备方法，属于光电子加工技术领域。操作步骤如下：(1)光刻胶条带列图案的单次曝光光刻制作，(2)光刻胶斜坡掩模的制作，(3)磷化铟垂直楔形结构的常温下干法刻蚀，得到垂直楔形结构；垂直楔形结构实现将单模光纤出射光的模式绝热地转换为模斑转换器所连接的探测器传输波导所支持的模式，完成对单模光纤出射光的模斑的缩小。本发明常温下干法刻蚀，不会导致光刻胶掩模变形碳化。本发明只需要调整干法刻蚀配方中射频功率(RF)功率、电感耦合等离子体(ICP)功率，从而调控磷化铟和光刻胶的刻蚀选择比，比较准确地调控得到的磷化铟垂直楔形结构的斜坡倾斜角。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转换器 中的 磷化 垂直 楔形 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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