[发明专利]圆弧形卤素加热灯在审
| 申请号： | 202210596193.6 | 申请日： | 2022-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN115379601A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 郑锦;姚铖;陶佳月 | 申请（专利权）人： | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00;H05B3/02;H05B3/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种圆弧形卤素加热灯，所述加热灯包括有石英玻璃罩、加热钨丝和陶瓷灯帽，所述石英玻璃罩设置有圆弧部和柱体部，所述柱体部设置在圆弧部的两端，且所述柱体部垂直于圆弧部；所述加热钨丝用于对加工工件进行加热，同时所述加热钨丝固定在石英玻璃罩的内部；所述石英玻璃罩用于将加热钨丝与空气进行隔绝；所述陶瓷灯帽通过陶瓷泥与石英玻璃罩的端部进行固定连接。本发明通过一体成型的钨丝引线和圆弧形石英玻璃罩的设置，可以更友好的适配圆形半导体晶圆的加热处理，同时由于多个圆弧形卤素加热灯共同作用时，其可以形成紧凑型的圆环形加热区域，从而其可以更好地利用反应空间，进而可以提高整体加热效果。 | ||
| 搜索关键词： | 圆弧 卤素 加热 | ||
【主权项】：
暂无信息
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