[发明专利]基于波前零差干涉的高精度双轴激光水平仪及测量方法有效

专利信息
申请号: 202210585708.2 申请日: 2022-05-27
公开(公告)号: CN114964181B 公开(公告)日: 2023-04-25
发明(设计)人: 胡鹏程;于亮 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G01C15/00 分类号: G01C15/00
代理公司: 北京盛询知识产权代理有限公司 11901 代理人: 方亚兵
地址: 150080 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 发明公开了基于波前零差干涉的高精度双轴激光水平仪及测量方法,包括:通过激光光源模块获得激光信号,将所述激光信号传输至一体化传感模块,基于所述一体化传感模块产生波前干涉信号;将所述波前干涉信号输入信号处理模块进行高精度解耦运算,获得水平倾角测量结果。本发明完全基于激光干涉测量原理,测量分辨力高,且测量结果可直接溯源至激光波长,仅用单束测量光即可实现高精度双轴倾角测量,同时具有结构简单、光路简洁、易集成、利于工程实现、性价比高等优势,满足了高端装备对超精密水平仪的需求。
搜索关键词: 基于 波前零差 干涉 高精度 激光 水平仪 测量方法
【主权项】:
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