[发明专利]激光干涉仪在审
| 申请号： | 202210576935.9 | 申请日： | 2022-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN115406481A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 山田耕平;清水武士 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 纪秀凤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种激光干涉仪，无论振动元件的振动条件如何，都能够更正确地解调来自测定对象物的多普勒信号。该激光干涉仪具备：光源，射出激光；光分割器，将从光源射出的激光分为第一光路和第二光路；光调制器，具备设置在第一光路或第二光路上、通过流过电流而振动的振动元件，并利用振动元件调制激光；受光元件，接收由设置在第一光路或第二光路上的测定对象物反射的激光，并输出受光信号；以及解调电路，基于基准信号及调制信号，从受光信号解调来自测定对象物的多普勒信号，其中在将流过正在振动的振动元件的电流的振幅值设为Iq[A]、将振动元件的振动频率设为f[Hz]时，满足Iq/f≤1×10 |
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| 搜索关键词： | 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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