[发明专利]一种用于晶圆AOI检测的紫外-可见显微物镜光学系统有效
| 申请号： | 202210563014.9 | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN114859540B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 解树平;顾伟中 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞霏光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/02 | 分类号： | G02B21/02;G02B13/00;G02B13/06;G02B13/18 |
| 代理公司： | 苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙) 32312 | 代理人： | 杨月芳 |
| 地址： | 215400 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆AOI检测的紫外‑可见显微物镜光学系统，沿其光轴方向，从物方到像方依次包括第一透镜组、第二透镜组以及第三透镜组；第一透镜组包含具有正光焦度的第一透镜、具有正光焦度的第二透镜和具有正光焦度的第三透镜，第二透镜组包含具有正光焦度的第四透镜、具有正光焦度的第五透镜、具有负光焦度的第六透镜、具有正光焦度的第七透镜、具有负光焦度的第八透镜、具有正光焦度的第九透镜以及具有负光焦度的第十透镜，第三透镜组包含具有正光焦度的第十一透镜、具有正光焦度的第十二透镜、具有负光焦度的第十三透镜、具有负光焦度的第十四透镜以及具有正光焦度的第十五透镜。本发明具备了大视场、大数值孔径的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 aoi 检测 紫外 可见 显微 物镜 光学系统 | ||
【主权项】：
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