[发明专利]一种二硫化钼气敏探测器

摘要

本发明属于痕量气体检测技术领域，涉及一种气敏探测器，特别是一种以二硫化钼为导电层的栅控气敏探测器。该二硫化钼气敏探测器包括基底、二硫化钼、底栅介质层、源电极和漏电极，二硫化钼位于基底和底栅上方，源电极和漏电极位于二硫化钼两端。本发明采用底栅电极，该二硫化钼气敏探测器基底由导电硅层和二氧化硅层构成，绝缘的二氧化硅层作为底栅介质层，导电硅层作为底栅电极。本发明所采用的二硫化钼作为导电层，其二维状态下的高比表面积使得探测器能够检测低浓度的NO2，底栅电极的加入降低了二硫化钼的背底电流，光照增强了二硫化钼与二氧化氮气体分子之间的吸附作用，有效提高了探测器的灵敏度，检测极限和信噪比，有利于改善环境问题。