[发明专利]一种基于Pd/MoOx纳米粒子组装结构的乙醇气敏材料及制备方法、传感器件在审
| 申请号： | 202210549147.0 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN115015332A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 谢波;钱浩宇;胡军;夏盛杰;肖作旗;郝胜杰;毛稀兵;孙健;周兴泉;张澳雪 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 龚如朝 |
| 地址： | 310014 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于Pd/MoOx纳米粒子组装结构的乙醇气敏材料及制备方法、传感器件，本发明的Pd/MoOx纳米组装材料利用团簇束流沉积技术制备，利用双靶团簇溅射源，在带有绝缘衬底的叉指电极表面先后沉积Mo纳米粒子和Pd纳米粒子，在空气中经过陈化后即可得到不同质量比例的Pd/MoO |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 pd moox 纳米 粒子 组装 结构 乙醇 材料 制备 方法 传感 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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