[发明专利]一种微纳跨尺度表面结构快速测量方法和装置有效
| 申请号： | 202210548526.8 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN114659465B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 刘晓军;杨文军;刁宽 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/0209;G06N3/08 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 彭军芬 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微纳跨尺度表面结构快速测量方法和装置，属于光学和电子制造精密测量领域。本发明以白光干涉的微纳跨尺度表面结构测量装置为基础，通过改变压电工作台扫描策略和白光干涉信号采样方式，实现快速高精度测量。第一，压电工作台预扫描，采用位移传感器采集工作台在等时间间隔移动下的位移数据；第二，利用神经网络算法进行时间‑位移曲线高精度拟合，得到等位移间隔对应的非均匀时间序列；第三，在硅悬臂梁纳米测量模式下放置待测样品，压电工作台按预扫描参数往复运动，同时信号采集卡按等位移间距对应的非均匀时间序列对硅悬臂梁上表面的白光干涉信号进行采样；第四，对白光干涉信号进行数据处理获得样品表面三维结构，完成测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微纳跨 尺度 表面 结构 快速 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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