[发明专利]一种吸气式ECR中和器电子引出加强装置在审

专利信息
申请号: 202210518154.4 申请日: 2022-05-12
公开(公告)号: CN114753982A 公开(公告)日: 2022-07-15
发明(设计)人: 杨涓;牟浩;高振业;付瑜亮;夏旭;雷一鸣 申请(专利权)人: 西北工业大学
主分类号: F03H1/00 分类号: F03H1/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 710072 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开一种吸气式ECR中和器电子引出加强装置,中和器可以利用微波能量电离工质气体产生等离子体,在阳极电势的作用下引出电子,而该电子引出加强装置可以把电子电流提高到原有基础的30%以上。所述电子引出加强装置由屏蔽板与引出板组成,通过在引出板加载电压形成电势差,以提高中和器的电子引出效率。所述吸气式ECR中和器通过永磁体在放电室内形成特定的ECR区;通过特定形状和尺寸的微波天线在ECR区附近形成高强度微波电场,增加与磁场的耦合作用,提供高效的电离能量。进一步,永磁体和天线间特定的相对位置,优化了放电性能,有效提高了放电室内部等离子密度,同时配合电流加强装置可明显提高ECR中和器的电子引出电流。
搜索关键词: 一种 吸气 ecr 中和 电子 引出 加强 装置
【主权项】:
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