[发明专利]一种吸气式ECR中和器电子引出加强装置在审
申请号: | 202210518154.4 | 申请日: | 2022-05-12 |
公开(公告)号: | CN114753982A | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 杨涓;牟浩;高振业;付瑜亮;夏旭;雷一鸣 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | F03H1/00 | 分类号: | F03H1/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710072 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开一种吸气式ECR中和器电子引出加强装置,中和器可以利用微波能量电离工质气体产生等离子体,在阳极电势的作用下引出电子,而该电子引出加强装置可以把电子电流提高到原有基础的30%以上。所述电子引出加强装置由屏蔽板与引出板组成,通过在引出板加载电压形成电势差,以提高中和器的电子引出效率。所述吸气式ECR中和器通过永磁体在放电室内形成特定的ECR区;通过特定形状和尺寸的微波天线在ECR区附近形成高强度微波电场,增加与磁场的耦合作用,提供高效的电离能量。进一步,永磁体和天线间特定的相对位置,优化了放电性能,有效提高了放电室内部等离子密度,同时配合电流加强装置可明显提高ECR中和器的电子引出电流。 | ||
搜索关键词: | 一种 吸气 ecr 中和 电子 引出 加强 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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