[发明专利]一种极紫外光源中液滴靶空间位置的监控系统及方法在审
| 申请号： | 202210515969.7 | 申请日： | 2022-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN115047720A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 孙秦;王新兵;左都罗 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 张晓博 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于极紫外光源技术领域，尤其涉及一种极紫外光源中液滴靶空间位置的监控系统及方法，利用单个CCD对XOZ平面和YOZ平面上的液滴同时成像，实现液滴锡靶空间位置的实时监控。并在此基础上，发展了手动控制和自动控制两种反馈调控方式对液滴发生器的空间位置进行反馈调节，使液滴的运动路径始终经过激光焦点。本发明可以基于CCD拍摄的液滴射流图片对极紫外光刻机光源中液滴靶空间位置进行实时反馈调节，具有结构简单，精度高，易于实施的优点，并且能够有效修正目标液滴路径相对激光焦点的偏移，有利于提高LPP辐射的EUV光产生效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光源 中液滴靶 空间 位置 监控 系统 方法 | ||
【主权项】：
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