[发明专利]一种高硬度六元高熵合金薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202210483088.1 | 申请日： | 2022-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN114959582B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 杨滨;张黎;叶奇鲁 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种高硬度六元高熵合金薄膜及其制备方法，属于高熵合金领域。薄膜成分由Al、Cr、Fe、Ti、Mo、Si六种元素组成，原子比为Al 23％～25％、Cr 23％～25％、Fe 10％～12％、Ti 23％～25％、Mo 13％～15％、Si 1％～2％。薄膜组织结构为非晶态，硬度为11.21GPa～12.99GPa，弹性模量为162.1GPa～177.03GPa。制备方法分为靶材粉体制备、合金靶材制备、基体的准备、磁控溅射沉积薄膜四个步骤。本发明制备的薄膜元素分布均匀，表面粗糙度小，结构处于无序状态，具有优异的耐腐蚀性能；同时，由于元素原子尺寸差异较大，且非晶薄膜没有位错、晶界缺陷，大大提高了薄膜的硬度。本发明的制备方法可行性强，可重复性高，成本低，可在复杂构件、薄壁件表面制备高硬度、耐腐蚀的高熵合金薄膜，易于应用和推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硬度 六元高熵 合金 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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