[发明专利]用于电阻温度传感器元件的传感器组件和电阻温度传感器元件在审
| 申请号： | 202210471800.6 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN115307765A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | S.A.罗辛格;H.瑟特尔 | 申请（专利权）人： | 泰连感应德国有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/18 | 分类号： | G01K7/18 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张邦帅 |
| 地址： | 德国多*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于电阻温度传感器元件(3)的传感器组件(1)以及包括传感器组件(1)的电阻温度传感器元件(3)。为了降低对测量结构(7)和基板(5)之间的结合损害的风险，提供了一种传感器组件(1),包括由多个层(13、17)制成的多层基板(5)和设置在多层基板(5)上的测量结构(7),多层基板(5)包括主要包含第一材料(15)的至少一层(13),第一材料(15)是氧化铝和钇铝石榴石中的至少一种，主要包含稳定第二材料(19)的至少一层(17)，稳定第二材料(19)是稳定二氧化锆和稳定二氧化铪中的至少一种，稳定第二材料(19)通过包含化合价不同于4的元素的氧化物来稳定，至少一层(13)和至少一层(17)彼此上下设置，并且多个层(13、17)的热膨胀系数(CTE)与测量结构(7)的热膨胀系数的偏差小于5％。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电阻 温度传感器 元件 传感器 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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