[发明专利]一种触针式表面轮廓仪探针系统的制备方法及调校方法有效
| 申请号： | 202210470107.7 | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN114850792B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 张晓东;李锁印;韩志国;徐森峰;赵琳;许晓青;吴爱华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;G01B7/28;G01B7/02;G01B7/34 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 刘少卿 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请适用于微电子计量领域，提供了一种触针式表面轮廓仪探针系统的制备方法，其特征在于，包括：确定探针系统的材质和图纸，探针系统包括针尖和底座，针尖的材质为钨钢，底座的材质为铝；采用微细电火花加工方式对钨钢材料进行加工，制备针尖；采用机械加工方式对铝制材料进行加工，制备底座；将针尖和底座组装为探针系统。本申请为触针式表面轮廓仪提供了一套材料选择、图形设计、电火花加工、机械加工以及位置调校系统化的方案，在一定程度上解决了探针系统磨损的问题，提高了台阶测量的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 触针式 表面 轮廓仪 探针 系统 制备 方法 调校 | ||
【主权项】：
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